Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния - page 3

Погрешность определения состава загрузки для роста слитков…
3
погрешности взвешивания лигатуры
лит
лиг бор
1
заг
;
M
C K
M
 
(4)
погрешности определения концентрации лигатуры
лит
лиг бор
2
лиг
заг
;
C
M K
C
M
 
(5)
погрешности взвешивания частей загрузки
p
- и
n
-типа
бор
3
заг
фос
4
заг
;
;
i
p
j
n
p
i
M
n
j
M
K C
i
M
K C
j
M
 
 
(6)
погрешности определения концентраций носителей заряда в за-
грузках
p
- и
n
-типа
ср
ср
бор
5
заг
фос
о
6
заг
;
.
i
p
i
n
p
i
C p
n
C n
K M
C i
M
K M
C j
M
 
 
(7)
Здесь
лиг
M
— погрешность взвешивания лигатуры, кг;
n
M
 
=
p
M
— погрешности взвешивания частей загрузки
p-
и
n
-типов, кг;
лиг
p
n
C C C
    
— соответственно погрешности определения кон-
центрации носителей заряда в лигатуре и в загрузках
p
- и
n
-типа про-
водимости, %;
ср
ср
,
p
n
C C
— средневзвешенные концентрации носи-
телей заряда в загрузках
p
- и
n
-типов проводимости, ат/см
3
,
ср
ср
;
.
j
j
i
i
i
j
n n
p p
j
i
р
n
p
n
i
i
M C
M C
C
C
M
M
Расчет погрешности
. Для реального процесса роста мультикри-
сталлического кремния была использована многокомпонентная за-
грузка, состав которой и данные по концентрации носителей заряда в
каждой из частей приведены в табл. 1. Для данного состава загрузки
массу лигатуры рассчитывали по формуле (1) из условия получения
слитка с
1,7 Ом см,
 
что соответствует
15
3
цел
8, 247 10 ат/см .
C
 
1,2 4,5,6
Powered by FlippingBook