134
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012
Рис. 4. Зависимость толщины осажденного слоя теллурида висмута
от
температуры нагревателя при расстояниях мишени от подложки 15 (
1
)
и 50 (
2
)
мм
а
б
в
г
Рис. 5. Поверхность пленки теллурида висмута, осажденной при темпе-
ратуре нагревателя 20 °С с увеличением 280 (
а
)
и 5 000 (
б
)
раз, при тем-
пературе 400 °С с увеличением 280 (
в
)
и 5 000 (
г
)
раз