ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012
24
2
н.р
н
,
(
)
S aq bq c S
= + +
(4)
где
a
,
b
,
c
–
эмпирические коэффициенты,
a
= 12,7 с
2
/(
м
2
·
Па
2
),
b
=
= 5,4·10
4
с/(м·Па),
c
= 1,02. Максимальная погрешность расчетов с
помощью данной зависимости составляет менее 5 %.
В заключение отметим, что при проектировании ТМН с оптими-
зацией основных параметров необходимо уделить должное внима-
ние проблеме снижения газовыделений с внутренних поверхностей
насоса (за счет выбора соответствующих материалов, возможности
реализации технологий вакуумной гигиены). Рекомендуемое значе-
ние удельного потока газовыделений
q
< 1·10
–6
м
3
·
Па/(м
2
·
с). В соот-
ветствии с результатами расчетов для оптимизации параметров
ТМН наиболее приемлемым является диапазон давлений на стороне
всасывания
p
= 1·10
–1
…1·10
–6
Па.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1.
Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Ни-
кулин и др./ под общей ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. – 3-е изд. пе-
рераб. и доп. – М.: Машиностроение, 2009. – 590 с.
2.
Д е м и х о в К. Е., Н и к у л и н Н. К. Оптимизация высоковакуумных меха-
нических насосов. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. – 255 с.
Статья поступила в редакцию 14.09.2012