19
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины акселерометра
Методика расчета ожидаемой формы распределения толщины по-
крытия по напыляемой поверхности сводится к следующему.
Как можно видеть из уравнения (31), угол поворота сателлита
имеет свою область определения. Действительно, для осуществления
процесса напыления должно выполняться условие:
90
90 ,
откуда следует, что
(90 )
90 .
Поскольку между частотами вращения сателлита и карусели уста-
новки имеется жесткая кинематическая связь, то существует соотноше-
ние
=
k
и областью определения аргументов полученных математи-
ческих моделей является диапазон
90
90 .
k
k
(32)
Напыляемую поверхность детали делят на отрезки, количество ко-
торых соответствует задаваемой точности расчета ожидаемой формы
распределения толщины покрытия. За расчетные точки
A
принимают
середины отрезков. Расчет начинают с положения, при котором углу
соответствует его нижнее граничное значение из области определения
(32). Для этого положения по формуле (7) вычисляют ожидаемую тол-
щину напыляемого покрытия во всех рассматриваемых точках
A
, сохра-
няя результаты в виде массива. Входящие в формулу (7) величины
,
и
при этом рассчитывают по формулам (29), (30) и (31), причем исполь-
зуемые в них величины
AK
и
K
определяют по формулам (23) и (28).
Далее задаются элементарным приращением
d
и осуществляют
рекуррентную замену
=
+
d
для каждого из значений
, повторяя
описанную выше процедуру. Полученные значения приращений тол-
щины покрытия в рассматриваемых точках
A
накапливают, представляя
соответствующие элементы массива в виде накопленных сумм. Вы-
числения заканчивают, когда текущее значение угла
становится боль-
ше верхней границы области определения (32). Искомое расчетное рас-
пределение толщины напыляемого покрытия по поверхности детали
описывается графиком, сформированным элементами рассматриваемо-
го массива точек
A
.
Формирование макрорельефа пластины плазмохимическим
травлением.
Плазмохимическое травление (ПХТ) оптического стекла
