4
Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов
ется возможным, особенно в случае использования неметалличе-
ских подложек в связи с высокотемпературным процессом синтеза
графена. Поэтому были предложены и реализованы методы по усо-
вершенствованию получения микро- и наноструктурированных
графеновых пленок.
Рассмотрим более подробно маршрут изготовления тестовых об-
разцов графена, исследуемых в настоящей статье (рис. 3). На эскизах
операций представлено следующее:
а) подготовка кремниевой подложки;
Рис. 2.
Схема установки для осаждения угле-
родных пленок
Рис. 3.
Изготовление структурированных пленок графена
