Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы…
7
Длина ребра куб-призмы составляет 25 мм. Очевидно, что такая
призма вносит значительную волновую аберрацию. Для компенсации
этой аберрации используется вогнутая сферическая поверхность ме-
нисковой линзы диаметром 50 мм из стекла К8, как это описано в ра-
боте [2]. В результате аберрация волнового фронта, который направ-
ляется в сторону линзы, не превышает 0,004
λ
. Числовая апертура
светового пучка, выходящего из линзы, увеличивается в
n
раз по от-
ношению к числовой апертуре пучка, проходящего через куб-призму
(
n
— показатель преломления материала менисковой линзы). В дан-
ном случае менисковая линза изготовлена из стекла К8, поэтому чис-
ловая апертура пучка, направленного в сторону центральной одно-
линзовой системы, составляет 0,25.
Анализ достоинств и недостатков предложенной оптической си-
стемы интерферометра на базе центральной однолинзовой системы
позволяет сделать следующие выводы.
1. Новая оптическая система двухдиапазонного интерферометра
предназначена для бесконтактного контроля за один прием формы
выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм с радиу-
сами кривизны до 6 000 мм и числовыми апертурами до 0,21. При
этом отсутствует экранирование центральной зоны контролируемой
поверхности.
2. Эталонный волновой фронт формируется выпуклой поверхно-
стью менисковой линзы диаметром 50 мм из стекла К8, что обеспе-
чивает возможность получения идеального сферического волнового
фронта.
3. Предложенный вариант центральной однолинзовой системы
имеет преимущества перед четырехлинзовым вариантом благодаря
значительному снижению массы, что влечет за собой уменьшение
влияния ее весовой деформации на форму рабочего волнового фронта.
4. К недостаткам центральной однолинзовой системы можно от-
нести то, что отступление асферической поверхности от ближайшей
сферы при диаметре 620 мм достигает 280 мкм. Это обстоятельство
не позволяет существенно увеличивать диаметр центральной одно-
линзовой системы ввиду того, что увеличение диаметра повлечет за
собой увеличение асферичности и, как следствие, возрастут техноло-
гические трудности в изготовлении асферической поверхности.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. и др.
Справочник технолога-
оптика
. 2-е изд., перераб. и доп. Санкт-Петербург, Политехника, 2004,
679 с.
[2] Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Иконина А.В.
Оптические системы двухлуче-
вых интерферометров.
В 2 ч. Ч. 2. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баума-
на, 2005, 27 с.
Статья поступила в редакцию 24.06.2013
