Оптимизации траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя
Авторы: Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А., Чжо Вин Наинг
Опубликовано в выпуске: #10(22)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-10-1042
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Плазменные технологии
Проведен анализ профиля выработки катода в торцевом дуговом испарителе с арочным магнитным полем и управляемой траекторией движения катодного пятна. Получены зависимости для определения неравномерности выработки катода. Профиль выработки катода при фиксированном положении траектории катодного пятна аппроксимировался кривой Гаусса. Общий профиль выработки катода определялся суммированием профилей выработки, полученных при смещении траектории на заданный шаг. Найден оптимальный шаг смещения катодного пятна по радиусу: он соответствует 1/3 ширины зоны выработки при фиксированном положении траектории катодного пятна. При этом неравномерность выработки катода составляет менее 3%.
Литература
[1] Кесаев И.Г., Пашкова В.В. Электромагнитная фиксация катодного пятна. Журнал технической физики, 1959, т. 29, № 3, с. 287-298
[2] Sethuraman S.K., Barrault M.R. Study of the Motion of Vacuum Arcs in High Magnetic Field. Journal of Nuclear Materials, 1980, vol. 93-94, pp. 791-798
[3] Духопельников Д.В., Жуков А.В., Костин А.А. Управление движением катодного пятна в линейных вакуумно-дуговых испарителях. Упрочняющие технологии и покрытия, 2005, № 11, с. 45-49
[4] Береговский В.В., Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Щуренкова С.А. Объемное содержание и дисперсный состав капельной фазы в покрытиях, полученных вакуумно-дуговым методом на установке PLATIT п-80. Упрочняющие технологии и покрытия, 2009, № 1, с. 3-5
[5] Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Щуренкова С.А. Динамика движения катодных пятен по поверхности катода в поперечном магнитном поле. Инженерное образование, 2012, № 01. URL: http://technomag.bmstu.ru/doc/256359.html doi:77-30569/256359 (дата обращения 18.06.2013)
[6] Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А. Исследование профиля выработки катода дугового испарителя с арочным магнитным полем. Инженерное образование, 2012, № 11. URL: http://technomag.edu.ru/doc/482485.html doi:10.7463/1112.0482485 (дата обращения 18.06.2013)