Метод расчета оптимальной откачной характеристики турбомолекулярного вакуумного насоса
Опубликовано: 03.12.2012
Авторы: Демихов К.Е., Очков А.А.
Опубликовано в выпуске: #7(7)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-7-275
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Вакуумная и компрессорная техника
Приведены результаты расчета оптимальной характеристики вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), обеспечивающего заданную быстроту откачки в широком диапазоне давлений на стороне всасывания. Представлены рекомендации по проектированию ТМН, работающего в том числе в области сверхвысокого вакуума.
Литература
[1] Вакуумная техника: справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др./ под общей ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. – 3-е изд. перераб. и доп. – М.: Машиностроение, 2009. – 590 с.
[2] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. – 255 с.