Представлена технология получения тонких пленок и регулярных массивов наночастиц золота на поверхности опаловых пленок. Приведены результаты исследования параметров рельефа образцов полученных структур на спектрофотометре, атомно-силовом микроскопе и спектрометре комбинационного рассеяния. Выявлено, что, варьируя время нанесения золота, на поверхности опаловой пленки можно сформировать как массивы частиц нанометрового размера, так и сплошную повторяющую рельеф опаловой матрицы пленку золота. Обнаружено, что сформированные массивы частиц обладают свойствами плазмонных структур, демонстрируя эффект усиления комбинационого рассеяния. Представленные результаты могут быть использованы при разработке технологии формирования разнообразных слоистых структур и систем частиц на поверхности опаловых матриц, в частности, в производстве устройств фотоники, чувствительных элементов газовых сенсоров, усиливающих комбинационное рассеяние подложек и эмиссионных устройств.