Демпфер на основе магнитореологического эластомера для активной виброизоляции нанотехнологичекого оборудования
Авторы: Михайлов В.П., Зобов И.К., Селиваненко А.С.
Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-813
Раздел: Наноинженерия
Приведена оценка демпфирующих свойств магнитореологических (МР) эластомеров в условиях воздействия на них магнитного поля. Представлены анализ системы полуактивной виброизоляции и возможность регулировки вязко-упругих свойств демпфера. Исследована эффективность поглощения энергии колебаний МР-эластомерами с использованием полученных зависимостей механического гистерезиса. Представлены результаты экспериментальных исследований активного МР-демпфера на основе МР-эластомера. Показана возможность регулировки коэффициента передачи и жесткости в полуактивном режиме работы МР-демпфера. Получена зависимость индукции от напряженности магнитного поля в рабочем зазоре МР-демпфера. Показано использование ПИДрегулирования, которое позволяет увеличить точность позиционирования и плавность перемещения, уменьшить время переходного процесса.
Литература
[1] Быков В.А. Инструменты нанотехнологий сегодня и завтра. Наноиндустрия, Спецвыпуск, 2010, с. 10-14
[2] Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Уткина Е.А. Наноэлектроника. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009, 223 с.
[3] Попов В.В., Салецкий А.М. Наномеханообработка. Возможности и перспективы. Российские нанотехнологии, 2008, № 9-10, с. 32-35
[4] Сычев В.В. Адаптивные оптические системы в крупногабаритном телескопостроении. Старый Оскол: ООО "ТНТ", 2005, 464 с.
[5] Камышный Н.И., Курчанова М.В., Логинов П.В. Система виброизоляции прецизионного технологического оборудования. Изв. вузов. Машиностроение, 1988, № 10, с. 150-155
[6] Алабужев П.М., Гритчин А.А., Ким Л.И. Виброзащитные системы с квазинулевой жесткостью. Рагульскис К.М., ред. Ленинград, Машиностроение, Ленингр. Отд-ние, 1986, 96 с.
[7] Михайлов В.П., Базиненков А.М., Зобов И.К., Шаков К.Г., Хвостов А.А. Системы точного позиционирования и активной виброизоляции для нанотехнологического оборудования. Наноинженерия, 2011, № 3, с. 47-57
[8] Active Vibration Isolation. Accurion. [Электрон. ресурс] URL: http://www.ac-curion.com
[9] Vibration Isolation Products. Minus K® Technology, Inc. [Электрон. ресурс] URL: http://www.minusk.com
[10] Михайлов В.П., Базиненков А.М., Зобов И.К. Магнитореологические устройства активной виброизоляции и позиционирования для прецизионного вакуумного оборудования. Вакуумная техника и технология, 2011, т. 21, № 3, с. 165-169
[11] Горбунов А.И., Михайлов В.П., Степанов Г.В. Исследование свойств и новое применение магнитных силиконовых композитов. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008, № 1(70), с. 90-107