Эффективность получения кремния из кварца в газоплазменном аргоновом потоке с добавкой водорода
Опубликовано: 09.10.2013
Авторы: Гришин Ю.М., Козлов Н.П., Скрябин А.С.
Опубликовано в выпуске: #5(17)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-5-716
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Энергетическое машиностроение