Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "рефлектометрический метод"


Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и характеристик роста нанопленок золота на кварцевой подложке в процессе их напыления

Опубликовано: 17.12.2012

Авторы: Городничев В.А., Белов М.Л., Белов А.М., Федотов Ю.В.

Опубликовано в выпуске: #9(9)/2012

DOI: 10.18698/2308-6033-2012-9-354

Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника