Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "корреляционная микроскопия"


Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find

Опубликовано: 17.12.2012

Авторы: Гончаров А.С., Ковалев М.С., Соломашенко А.Б., Кузнецов А.С.

Опубликовано в выпуске: #9(9)/2012

DOI: 10.18698/2308-6033-2012-9-361

Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника