Моделирование и оптимизация технологического процесса ионно-лучевого травления
Опубликовано: 11.09.2014
Авторы: Гурченков А.А., Муравей Л.А., Романенков А.М.
Опубликовано в выпуске: #2(26)/2014
DOI: 10.18698/2308-6033-2014-2-1211
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Электронное машиностроение