Подготовка исходного сырья для роста слитков мультикристаллического кремния
Опубликовано: 08.10.2014
Авторы: Кутовой И.С., Радченко И.Н.
Опубликовано в выпуске: #7(31)/2014
DOI: 10.18698/2308-6033-2014-7-1263
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Материаловедение