Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "ультрафиолетовое (УФ) лазерное излучение"


Некоторые аспекты применения ультрафиолетового лазерного излучения в технологиях микроэлектроники

Опубликовано: 06.11.2012

Авторы: Голубенко Ю.В., Богданов А.В.

Опубликовано в выпуске: #6(6)/2012

DOI: 10.18698/2308-6033-2012-6-238

Раздел: Машиностроение | Рубрика: Лазерные технологии