ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012
21
УДК 621.51
К . Е . Д е м и х о в , А . А . О ч к о в
МЕТОД РАСЧЕТА ОПТИМАЛЬНОЙ ОТКАЧНОЙ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО
ВАКУУМНОГО НАСОСА
Приведены результаты расчета оптимальной характеристики ваку-
умного турбомолекулярного насоса (ТМН), обеспечивающего задан-
ную быстроту откачки в широком диапазоне давлений на стороне
всасывания. Представлены рекомендации по проектированию ТМН,
работающего в том числе в области сверхвысокого вакуума.
E-mail:
kdemikhov@yandex.ru
Ключевые слова:
высоковакуумный механический насос, откач-
ная характеристика, быстрота откачки, давление всасывания,
газовыделение.
Турбомолекулярные насосы (ТМН) относятся к группе высокова-
куумных средств откачки. Среди их основных преимуществ можно
выделить относительно высокие значения быстроты откачки в доста-
точно широком диапазоне давлений по различным газам, практиче-
ски отсутствие загрязнений откачиваемого объема органическими
соединениями и относительно малые габаритные размеры.
ТМН достаточно широко применяются в вакуумной технике.
На основании теоретических и экспериментальных исследований
создана теория процессов в рабочих полостях ТМН, проверенные
методы расчетов их оптимальных параметров, разработана и внед-
рена отечественная система автоматизированного проектирования
высоковакуумных механических насосов (к ним относятся и ТМН).
Значительный вклад в развитие и разработки внесли исследования,
выполненные в МГТУ им. Н.Э. Баумана [1].
В современных условиях весьма актуальным требованием,
предъявляемым к разработке перспективных средств откачки, явля-
ется оптимизация их основных параметров. Разработанные методы
расчета ТМН [1, 2] позволяют определять оптимальные характери-
стики для заданных параметров откачки – быстроты откачки
S
н
и
давления
p
газа на стороне всасывания. Как показали результаты рас-
четов, при изменении текущего значения
p
оптимальные параметры
ТМН также изменяются. Это связано с тем, что, например, при уве-
личении
p
в проточной части насоса могут изменяться режимы тече-
ния газа. Известно, что при переходе от номинального молекулярно-
го режима течения газа к молекулярно-вязкостному, и тем более вяз-