2
Г.Р. Сагателян, К.Л. Новоселов, А.В. Шишлов, С.А. Щукин
ладать высокой контактной жесткостью для обеспечения минимальных
отклонений от плоскостности обработанных поверхностей пластины,
а также высокими показателями абразивно-полирующего воздействия
на кварцевое стекло при минимальных величинах давления в зонах
контакта инструмента с заготовками.
Конструкция пластины предусматривает наличие локальных высту-
пов-столбиков высотой 30 мкм. Наиболее эффективным технологическим
способом формирования таких столбиков является плазмохимическое
травление плавленого кварца через маску, напыленную по тонкопленоч-
ной технологии. Это, в свою очередь, обусловливает необходимость раз-
работки технологии нанесения материала маски, обладающего наивыс-
шей селективностью плазмохимического травления относительно мате-
риала пластины — кварца, а также разработки собственно технологии
плазмохимического травления кварца на глубину 30 мкм.
Обеспечение точности формы пластины на основе моделирова-
ния процесса формообразования при доводке.
Доводку и полирова-
ние кварцевой пластины производят в сепараторе на двухстороннем
доводочном станке эксцентрикового типа [2]. На рис. 2 представлена
схема для расчета ожидаемой формы износа рабочей поверхности при-
тира. Предполагается, что точность формы доведенной детали опреде-
ляется точностями формы (отклонениями от плоскостности) рабочих
поверхностей притиров. Необходимо аналитически определить гео-
метрические параметры и кинематические факторы операции доводки,
обеспечивающие минимальные отклонения от плоскостности рабочих
поверхностей притиров в процессе доводки.
Рис. 1.
Конструктивное устройство маятникового акселерометра (
а
) и его
пластины (
б
):
1
,
3
— корпуса;
2
— кольцо;
4
— пластина;
5
,
6
— крышки;
7
— втулка,
8
— магнит;
9
— полюсный наконечник;
10
,
11
— катушки
а б
