Г.И. Уткин
8
го на его оправе. На оправе
15
закреплен ротор
21
электродвигателя
вращения анализатора, на корпусе прибора — статор электродвига-
теля
20
. При вращении лазера фотоприемники
18
,
19
, воспринимая
излучение, выходящее из блока совмещения встречных лучей лазе-
ра
17
, вырабатывают сигналы, поступающие через вращающийся
коллектор
22
на вход ЭВБ. Интегрируя эти сигналы во времени, ЭВБ
непрерывно определяет угловое положение анализатора. Информа-
ция об ориентации анализатора считывается электронным блоком в
момент равенства сигналов, поступающих с фотоприемников
24
и
25
,
и в моменты минимизации любого из сигналов, поступающих с этих
двух фотоприемников, что позволяет повысить достоверность и ско-
рость поляризационных измерений на данном приборе.
Для учета дрейфа нуля лазера в ЭВБ поступают опорные импуль-
сы, вырабатываемые датчиком опорного направления (ДОН) в мо-
менты строго определенного углового положения вращающихся ла-
зера и анализатора относительно корпуса прибора. В этот момент
зеркало
27
ориентировано относительно неподвижного зеркала
28
таким образом, что в результате многократного отражения из систе-
мы зеркал
27
и
28
выходит автоколлимационный блик, причем излу-
чение в систему зеркал поступает от источника излучения через во-
локонный световод
35
, коллимирующую линзу
34
, светоделитель
32
,
окуляр
31
, точечную диафрагму
30
и объектив
29
. В результате
наклонного многократного отражения от зеркал
27
и
28
изменяется
состояние поляризации автоколлимационного блика относительно
состояния поляризации падающего света, и отраженное излучение
отклоняется поляризационным светоделителем
32
на фотоприем-
ник
33
. Для обеспечения работы предложенного датчика главная
плоскость поляризационного светоделителя развернута вокруг оси
автоколлиматора относительно плоскости падения зеркал
27
,
28
на
угол, позволяющий получить максимальный световой поток на фо-
топриемнике
33
. Зависимость разности фаз ортогонально поляризо-
ванных компонент многократно отраженного излучения от ориента-
ции зеркала
28
позволяет дополнительно повысить точность работы
датчика опорного направления.
По окончании цикла поляризационных измерений на одной
длине волны ЭВБ вырабатывает сигналы, перестраивающие моно-
хроматор на другую измерительную длину волны излучения. Благо-
даря совместной работе поляриметрического и эллипсометрического
каналов прибора расширяются его функциональные возможности
при исследовании состава и структуры многокомпонентных и много-
слойных сред и образцов в микроэлектронике, аналитической химии,
электрохимии, микробиологии. Одновременное исследование много-
слойных прозрачных структур в проходящем и отраженном свете,
