Схемы построения прецизионных спектрополяриметров для физико-химического анализа
9
осуществимое данным прибором, позволяет увеличить информатив-
ность проводимых поляризационных измерений, повысить надеж-
ность идентификации их структурных параметров с применением
сложных эллипсометрических моделей, что особенно важно для ис-
следований в области микроэлектроники, химии жидких кристаллов.
При этом существенно сокращается необходимый объем парка аппа-
ратуры, используемой в лабораториях, особенно производственных,
увеличивается коэффициент использования прибора, уменьшается
соответственно площадь производственных помещений, занимаемая
измерительной аппаратурой.
Спектрополяриметр с развертывающим принципом измерений [5]
обладает наиболее технологичной и простой углоизмерительной си-
стемой (рис. 3).
Рис. 3.
Структурная схема развертывающего спектрополяриметра:
1
— источник полихроматического излучения;
2
— управляемый монохроматор;
3
— вращающийся поляризатор;
4
— электромеханический привод;
5
— двигатель
ослабителя;
6
— неподвижный поляризатор;
7
— вращающийся фазовый компен-
сатор в виде электрооптического кристалла;
8
— вращающаяся оправа компенсато-
ра;
9
— развертывающий двигатель;
10
— привод;
11
— преобразователь угол–код;
12
— кольцевая зеркальная металлическая диафрагма;
13
— сплошное прозрачное
электропроводящее покрытие;
14
— фотоприемник фазометрического канала;
15
— высоковольтный усилитель;
16
— кольцевая диафрагма с непрозрачным цен-
тром;
17
— кольцевой коллектор;
18
— кювета;
19
— поляризационный анализа-
тор;
20
,
21
— фотоприемники;
22
— схема суммарно-разностной обработки сигна-
ла;
23
— устройство определения временного сдвига между опорными сигналами;
24
— блок сравнения сигналов;
25
— усилитель;
26
— контроллер развертывающе-
го двигателя
Излучение полихроматического источника
1
проходит управляе-
мый монохроматор
2
, падает на вращающийся поляризатор
3
, пово-
рачиваемый вокруг оптической оси с помощью электромеханическо-
го привода
4
и двигателя
5
. Поляризатор предназначен для осуществ-
