Проблемы формирования толстых слоев олова методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени

11 / 14

Проблемы формирования толстых слоев олова методом ионного распыления…
Инженерный журнал: наука и инновации # 1·2018 11
счет интенсивного теплопереноса. В остальном же данный метод
позволяет за короткий промежуток времени получать качественные
оловянные покрытия с толщинами в несколько десятков микрон, без
капельной фазы и с хорошей адгезией, пригодные для использования
в качестве припойного слоя в термоэлектрических модулях.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Алексеев C.Н. Электровакуумные приборы. Ульяновск, УлГТУ, 2003.
[2] Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электро-
магнитами. Автореф. дис. … канд. техн. наук. Москва, 2007.
[3] Разумнева Н. Прямая печать проводящих материалов. URL:
(дата обращения: 25.08.2017).
[4] Гамбург Ю.Д. Гальванические покрытия. Справочник по применению.
Москва, Изд-во «Техносфера», 2006.
[5] Макарова М.В., Моисеев К.М. Исследование свойств медных пленок, по-
лученных методом ионного распыления в магнетронных системах в парах
мишени. Вакуумная техника, материалы и технологии. Сб. тр. 12-й Меж-
дунар. науч.-техн. конф. Москва, 2017, с. 124–128.
[6] Макарова М.В., Васильев Д.Д., Моисеев К.М. Процесс ионного
распыления в магнетронных системах в парах мишени. Будущее
машиностроения России. Сб. тр. 9-й Всерос. конф. молодых ученых и
специалистов. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016, с. 298–305.
[7] Тумаркин А.В., Ходаченко Г.В., Степанова Т.В., Щелканов И.А. Магне-
тронный разряд с расплавленным катодом. Успехи прикладной физики ,
2013, т. 1, № 3, с. 276–282.
[8] Райзер Ю.П. Физика газового разряда . Москва, Изд-во «Интеллект», 2009.
[9] Григорьева И.С., Мейлихова Е.З. Физические величины: справочник .
Москва, Энергоатомиздат, 2015.
[10] Dida G.C., Apreutesei M., Arvinte R., Marin A., Cella A.O., Munteanu D. Mag-
netron sputtering technique used for coatings deposition; technologies and appli-
cations. Reports of 7th Intern. Conf. on Materials Science and Engineering
BRAMAT, Braşov, 2011, pp 29–33.
Статья поступила в редакцию 26.09.2017
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Макарова М.В., Моисеев К.М. Проблемы формирования толстых слоев олова
методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. Инже-
нерный журнал: наука и инновации, 2018, вып. 1.
Макарова Мария Владимировна – студентка 2-го курса магистратуры, кафедра
«Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область
научных интересов: технология формирования тонкопленочных структур в вакуу-
ме, осаждение толстых пленок различных материалов с высокими скоростями в
вакууме, вакуумное технологическое оборудование. e-mail
Моисеев Константин Михайлович – канд. техн. наук, доцент кафедры «Элек-
тронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область науч-