6 / 14
М.В. Макарова, К.М. Моисеев
6
Инженерный журнал: наука и инновации
# 1·2018
пылении легкоплавких металлов с высокими мощностями наблюда-
ется локальное оплавление мишеней и образование капельной фазы.
Таким образом, скорость осаждения при режиме ЖФМР с пода-
чей рабочего газа (без перехода в режим самораспыления) примерно
в 2,5 раза выше, чем при осаждении олова из твердой фазы, и для
осаждения пленки толщиной 5 мкм необходимое время составляет
порядка 4,5 мин. Несмотря на существенное (в 2,5 раза) увеличение
скорости осаждения, ее значение примерно на порядок ниже, чем при
ЖФМР в режиме самораспыления.
При такой скорости осаждения проведение процесса невозможно,
так как при тепловом воздействии на подложки со стороны магне-
трона в течение 4,5 мин происходит их разогрев до температуры
плавления олова. При этом расплавленная пленка собирается по по-
верхности в капли (рис. 1). Необходимо отметить тот факт, что капли
не являются так называемой капельной фазой метода, а образуются
именно после разогрева подложек и плавления пленки. Такие пленки
не удовлетворяют заданным критериям качества.
Рис. 1.
Изображение поверхности оловянной пленки при
реализации процесса с добавлением потока газа без перехо-
да в режим самораспыления и без вращения подложек
(увеличение 2×)
Определение мощности перехода в режим самораспыления.
Нахождение граничной мощности (т. е. минимальной), при которой
возможен процесс самораспыления, осуществлялось следующим об-
разом. Процесс плавления олова стабилизировался по мощности.
Начальная мощность составляла 1,5 кВт, так как теоретически мощ-