5 / 11
Применение методов сканирующей зондовой микроскопии…
Инженерный журнал: наука и инновации
# 1·2018 5
Рис. 2 (окончание).
Трехмерные модели рельефа углеродных структур, получен-
ные методами АСМ (
а
) и СТМ (
б
), изображения поверхности (
в
,
д
) и профили (
г
,
е
)
углеродных структур, полученные методами АСМ и СТМ соответственно
Несмотря на некоторую зашумленность, полученное методом
СТМ изображение пригодно для анализа рельефа поверхности изуча-
емых структур.
Обсуждение полученных результатов.
Можно свидетельство-
вать об открывшейся возможности комплексного послойного иссле-
дования пленочной структуры по мере ее выращивания (рис. 3). Соот-
ветственно, обсуждение построено на сопоставлении изменяющихся
профилей поверхности образцов (рис. 4) и вольт-амперных характери-
стик зазора зонд — образец (рис. 5), полученных на различных этапах
формирования образца — от однослойной структуры (см. рис. 3,
а
) до
пленочной композиции (см. рис. 3,
в
).
Рис. 3.
Слои пленочной композиции образца, осаждае-
мые на подслой хрома:
а
— опаловая пленка;
б
— пленка золота, сформированная на
опаловой пленке;
в
— пленка углерода, сформированная на
пленке золота
Сопоставление профилей поверхностей пленок опала (см. рис. 4,
а
)
и сформированных затем на них слоев золота (см. рис. 4,
б
) в очередной
раз подтверждает выявленный ранее [4] и упомянутый выше механизм
роста металлических пленок на поверхности опаловой матрицы. Иссле-
дование изображений и профилей поверхности осажденного на слой