Поиск по ключевому слову: плазмохимическое травление | Инженерный журнал: наука и инновации
Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "плазмохимическое травление"


Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений

Опубликовано: 11.11.2013

Авторы: Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Соломашенко А.Б., Дроздова Е.А.

Опубликовано в выпуске: #9(21)/2013

DOI: 10.18698/2308-6033-2013-9-922

Раздел: Приборостроение | Рубрика: Оптотехника

Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра

Опубликовано: 15.10.2013

Авторы: Сагателян Г.Р., Новосёлов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А.

Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013

DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-805

Раздел: Наноинженерия