Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "пары мишени"


Проблемы формирования толстых слоев олова методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени

Опубликовано: 17.01.2018

Авторы: Макарова М.В., Моисеев К.М.

Опубликовано в выпуске: #1(73)/2018

DOI: 10.18698/2308-6033-2018-1-1717

Раздел: Металлургия и материаловедение | Рубрика: Материаловедение в машиностроении