Панфилов Ю.В.
Mail:МГТУ им. Н.Э. Баумана
Москва, Россия
Панфилов Юрий Васильевич - д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сфера научных интересов: вакуумное технологическое оборудование, нанотехнологии.