Моделирование и оптимизация технологического процесса ионно-лучевого травления
11
чает процедуру счета. Отметим, что согласно принятым обозначени-
ям функция
0
,
,
x
F t x t
t
имеет вид
2
0
0
1
0
1
,
,
.
x
v t
t
F t x t
t
v t
x
Видно, что управление
t
присутствует здесь лишь в сомножителе
1
,
v t
t
v
а
x
всегда меньше нуля. Этот вывод был использо-
ван при реализации алгоритма для численного решения задачи.
Результаты расчетов
ИЛТ без применения оптимального управ-
ления для углов падения ионов
0
(
а
) и
3
(
б
) и
3
приве-
дены на рис. 4. Глубина травления
0, 4.
H
При
0
граничная
Рис. 4.
Эволюция профиля маски
( , )
t x
при нулевом (
а
) и максималь-
ном (
б
) угле падения ионов
