Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52…
1
УДК 621.793.182
Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52
на установке МВТУ-11-1
© М.В. Макарова, М.А. Мартыненко, А.С. Бабурин, К.М. Моисеев
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Рассмотрена смоделированная в программном комплексе SolidWorks магнитная
система жидкофазного магнетрона НМСА-52, смонтированного и запущенного на
установке МВТУ-11-1. Приведено сравнение двух вариантов магнитной системы.
Ряд экспериментов по запуску магнетрона проведен с различными вариациями
мишени и разными условиями горения разряда. Определены лучшие режимы рабо-
ты при запуске с тиглем и мишенью для жидкофазного распыления для новой маг-
нитной системы.
Анализ полученных результатов подтвердил необходимость
продолжения работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим с ис-
пользованием блока увеличенной мощности.
Ключевые слова:
жидкофазный магнетрон, моделирование магнитного поля,
магнитная система, ионное распыление.
Один из способов нанесения тонких пленок — метод ионного
распыления в магнетронных системах с жидкой мишенью. Этот ме-
тод отличается высокой скоростью осаждения, большой энергетиче-
ской эффективностью, а также высокими показателями чистоты и ад-
гезии. Скорость осаждения в данном случае складывается из двух
составляющих: испарения и распыления [1–3].
Установлено, что для достижения стабильного режима работы
магнетрона с жидкой мишенью необходимо использовать магниты
с большей индукцией магнитного поля в магнитной системе [4, 5].
Для реализации данного метода нанесения на вакуумной установке
МВТУ-11-1 лабораторией кафедры «Электронные технологии в ма-
шиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана совместно с ОАО «НИИТМ»
разработан и изготовлен новый жидкофазный магнетрон НМСА-52,
в котором в установленный на керамических прокладках тигель за-
гружается мишень толщиной 3,75 мм (рис. 1).
Цель работы заключается в том, чтобы смонтировать магнетрон,
отработать режимы зажигания разряда и обеспечить стабильное
функционирование магнетрона.