Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1

6 / 9

М.В. Макарова, М.А. Мартыненко, А.С. Бабурин, К.М. Моисеев
6
Рис. 8. Раскаленная мишень толщиной 3,75 мм
при выключенном питании
Результаты. На установке МВТУ-11-1 смонтирован и запущен
магнетрон НМСА-52. Полученная модель адекватно описывает пове-
дение магнитного поля магнитной системы, но не показывает реаль-
ного значения магнитной индукции в связи с тем, что неизвестна
точная марка магнитов НМСА-52.
В ходе проведения экспериментов достигнуты определенные успе-
хи в выведении магнетрона на жидкофазный режим: раскалена толстая
мишень, чего не удалось сделать на магнетроне НМСА-50.
Анализ полученных результатов показывает, что необходимо про-
должить работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим
с помощью блока APEL-M-1,5PDC, который обеспечивает бî льшую
мощность, чем блок, используемый в данном исследовании. Благодаря
этому можно увеличить мощность, получаемую на катоде, и достиг-
нуть жидкофазного режима.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Инструкция блока питания URL:
Manual%20APEL-M-3PDC.pdf (дата обращения 14.06.2015).
[2] Войнов Р.Ю., Третьяков Р.С., Талаева Ю.С. Исследование энергопотреб-
ления диодных распылительных систем с твердым и жидким катодом.
Томск, Томский политехнический университет, 2009, с. 3.
[3] Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Москва, Изд-во
Аверс, 2008, 244 с.
[4] Макарова М. В., Бабурин А. С. Монтаж и запуск жидкофазного магнетро-
на НМСА50 на установке МВТУ-11-1. [Электронный ресурс]. Всерос.
науч.-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машино-
строительные технологии»: материалы конференции, 7–10 апреля, 2015,
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана. Москва, ООО « КванторФорм», 2015.
URL: http:// (дата обращения 14.06.2015).
[5] Макарова М.В., Бабурин А.С. Измерение и моделирование магнитной си-
стемы жидкофазного магнетрона НМСА-50. [Электронный ресурс]. Все-
российская научно-техническая конференция «Студенческая научная вес-
на: Машиностроительные технологии»: материалы конференции,
7–10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана. Москва, ООО «Кван-
торФорм», 2015. URL: http:/ (дата обра-
щения 14.06.2015).
Статья поступила в редакцию 12.10.2015