3 / 9
Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52…
3
Таблица 1
Значения магнитной индукции систем НМСА-50 и НМСА-52
Расстояние
от центра,
мм
Среднее значение
магнитного поля на
различных расстоя-
ниях от центра, мТл
Среднеквадратичное
отклонение
S
2
Дис-
персия
2
1 2
x x
S
Расчет-
ное зна-
чение
Крити-
ческое
значение
(0,01; 2)
НМСА-52 НМСА-50 НМСА-52 НМСА-50
0
4,5
11,0
0,5
2,0
1,3
4,30
9,92
5
32,5
37,5
24,5
12,5
18,5
0,27
10
43,0
52,5
2,0
12,5
7,3
1,31
15
39,5
47,5
4,5
12,5
8,5
0,94
20
29,5
31,5
4,5
24,5
14,5
0,14
Моделирование магнитной системы НМСА-52.
На рис. 4 пред-
ставлена модель магнитного поля магнитной системы НМСА-52, вы-
полненная в программном комплексе SolidWorks.
Значения магнитной индукции этой системы приведены в табл. 2.
а
б
в
Рис. 4.
Моделирование магнитной системы НМСА-52:
а
,
б
— магнитная система с силовыми линиями;
в
— значения магнитной индукции, Тл