Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "конфокальная микроскопия"


Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии

Опубликовано: 15.10.2013

Авторы: Захаров П.С., Зайончковский В.С., Баскаков Е.Б.

Опубликовано в выпуске: #6(18)/2013

DOI: 10.18698/2308-6033-2013-6-808

Раздел: Наноинженерия