Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский

Поиск по ключевому слову "вакуумная дуга"


Оптимизации траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя

Опубликовано: 19.11.2013

Авторы: Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А., Чжо Вин Наинг 

Опубликовано в выпуске: #10(22)/2013

DOI: 10.18698/2308-6033-2013-10-1042

Раздел: Машиностроение | Рубрика: Плазменные технологии